3M™ Liqui-Cel™ membraancontactoren voor micro-elektronica en halfgeleiders

Nu bij de verwerking van halfgeleiders, productie van platte beeldschermen en in andere high-tech bedrijfstakken kleinere lijnbreedtes, grotere wafermaten en geavanceerde displaytechnologie worden toegepast, is de regeling van opgeloste gassen een cruciale factor bij de productie van hoogwaardig, ultrazuiver water voor halfgeleiders en micro-elektronica.

Dankzij hun efficiëntie, eenvoud en hoge ontgassingsprestatie worden 3M™ Liqui-Cel™ membraancontactoren beschouwd als de benchmark voor ontgassingstechnologie voor proceswaterzuiveringsysstemen voor halfgeleiders en platte schermen. Membraancontactoren hebben weinig extractables en tasten de waterkwaliteit niet aan. Met het juiste systeemontwerp verwijderen ze O₂ uit water tot minder dan 1 ppb en opgeloste CO₂ tot 0,5 ppm. Lage concentraties opgeloste zuurstof beschermen de productopbrengst, terwijl lage CO₂-concentraties de efficiëntie van elektrodionisatie (EDI) en andere ionuitwisselingsprocessen kunnen maximaliseren.

In tegenstelling tot conventionele vacuümtorens kunnen membraancontactorsystemen worden uitgebreid. Als de vereiste waterhoeveelheid stijgt of als de specificaties voor opgeloste gassen lager worden, kunnen extra membraancontactoren worden toegevoegd om aan veranderende eisen te voldoen.

3M™ Liqui-Cel™ membraancontactoren maken ook lage concentraties en nauwkeurige regeling van opgeloste gassen in ultrazuiver water en andere compatibele wet-bench vloeistofprocessen mogelijk.